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예스티, HBM 차세대 공정장비 개발 본격화

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Thursday, August 24, 2023, 11:08:30

자체 웨이퍼 가압설비 핵심 특허기술 활용

 

인더뉴스 양귀남 기자ㅣ예스티는 자체 온도 및 압력제어 관련 특허기술을 활용해 인공지능(AI) 반도체인 고대역폭메모리(HBM)의 고도화를 위한 필수공정 장비 개발을 진행하고 있다고 24일 밝혔다. 예스티가 개발 중인 장비는 HBM의 핵심공정 중 하나인 언더필 공정에 사용되는 차세대 웨이퍼 가압장비로 예스티는 기존의 가압설비를 스펙 및 성능 면에서 고도화해 개발하고 있다.

 

예스티는 지난 2011년 국내 최초로 웨이퍼 가압장비를 개발했으며, 지속적인 연구개발을 통해 관련 기술을 축적해 왔다. 현재 가압 열처리 장치, 공정처리용 챔버 장치, 반도체 부품용 듀얼 챔버장치 등 가압장비 분야에서 9개 핵심 특허기술을 보유하고 있으며, 2건의 특허를 출원해 심사 중으로 탄탄한 진입장벽을 구축하고 있다.

 

HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 쌓은 뒤 연결해 데이터 처리 용량과 속도를 일반 D램 대비 10배 이상 높인 첨단 메모리반도체다. HBM을 생산하기 위해서는 ▲적층된 칩을 수직으로 관통하는 TSV 공정 ▲칩과 칩을 접착하는 본딩 공정 ▲본딩 후 사이 공간을 절연수지로 채우고 경화하는 언더필(Under Fill) 공정이 핵심으로 꼽힌다.

 

이중 언더필 공정은 적층된 칩을 충격, 온도변화, 습도, 먼지 등 외부 환경으로부터 손상을 예방할 뿐만 아니라 다층 적층에 따른 Warpage(뒤틀림)도 방지해 HBM의 성능을 보호한다. 웨이퍼 가압 장비는 언더필 공정에서 칩과 칩 사이의 공간에 기포 등 불순물을 없애고 절연수지를 균일하게 경화시키는 역할을 한다.

 

예스티 관계자는 “챗GPT가 몰고 온 생성형AI 열풍으로 향후 HBM의 수요가 급증할 것으로 예상되고, HBM 시장을 차지하기 위한 글로벌 반도체 회사들의 경쟁이 뜨겁다”라며 “예스티는 핵심 특허 기술을 기반으로 점차 고도화되고 있는 HBM 생산 시 적용가능한 차세대 웨이퍼 가압장비를 개발하고 있다”라고 말했다.

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양귀남 기자 Earman@inthenews.co.kr

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NH농협금융 녹색여신 성과창출 채비완료…“ESG금융 선도그룹으로”

NH농협금융 녹색여신 성과창출 채비완료…“ESG금융 선도그룹으로”

2025.11.03 10:19:15

인더뉴스 문승현 기자ㅣNH농협금융지주(회장 이찬우)가 녹색여신 프로젝트를 완료하고 본격적인 성과창출에 나섭니다. 농협금융은 지난달 31일 서대문 본사에서 조정래 미래성장부문 부사장 주재로 '제2차 농협금융 ESG추진협의회'를 열었습니다. 지주와 각 계열사 ESG소관 부서장이 참석한 가운데 '녹색여신 관리지침 대응 프로젝트' 종료 보고와 함께 ESG 활성화방안 논의가 이뤄졌습니다. 또 글로벌 ESG 트렌드를 학습하고 농협금융 비은행 계열사 NH-Amundi자산운용 적용사례를 공유하며 지속가능한 금융 실현을 위한 협력방안에 머리를 맞댔습니다. 조정래 부사장은 "ESG금융 제도화가 본격화되는 가운데 농협금융이 녹색여신 관리체계를 완성하며 ESG금융 추진기반을 마련했다"고 평가했습니다. 그러면서 "이번 협의회를 계기로 각 계열사가 현장에서 시스템을 활용해 ESG금융 내재화와 실질적 성과를 적극 창출해 갈 것"이라고 기대감을 밝혔습니다. 앞서 농협금융은 지난 9월 여신을 취급하는 은행, 생명보험, 손해보험, 증권, 캐피탈, 저축은행 등 그룹 계열사에 '녹색여신 적합성판단시스템'을 일괄도입한 바 있습니다. 이 시스템은 녹색여신 심사(적합성판단)부터 사후관리, 모니터링, 내부통제 지원까지 녹색여신 취급 전과정을 포괄하는 통합업무플랫폼입니다. 계열사별 여신취급 과정에서 녹색여신 관리지침이 정의한 절차와 요건을 체계적으로 반영하도록 하는 게 핵심입니다. 녹색여신은 자금 사용목적이 환경부가 발표한 한국형 녹색분류체계(K-Taxonomy)에 부합하고 금융당국 녹색여신 관리지침상 내부통제 기준을 준수해 취급되는 여신을 말합니다. 농협금융 녹색여신 적합성판단시스템은 ▲K-택소노미 기반 녹색여신 적합성판단 절차지원 ▲기업 주요품목·업종분석을 통한 녹색경제활동 자동추천 및 키워드 기반 검색 ▲녹색여신 자금사용내역 점검 등 사후관리 ▲녹색여신비율 산출 등 그룹 현황 모니터링(그린보드)을 주요기능으로 하고 있습니다. 농협금융은 K-택소노미 6대 환경목표에 부합해 취급된 친환경금융을 '녹색금융'으로 총칭하고 2030년까지 30조원으로 확대한다는 목표를 내세웁니다. 올해 3분기 현재 친환경투자금액은 잔액기준 18조6000억원에 달합니다. 앞으로 농협금융은 녹색여신 시스템 내재화, 녹색여신 활성화 프로모션 추진, 해외 선진 금융사 사례 벤치마킹을 통한 전환금융 실행모델 마련 등 녹색·전환금융을 중심으로 지속가능금융에서 선도적 역할을 한다는 계획입니다. 조정래 부사장은 "ESG금융은 농협금융이 사회적 책임을 실현하고 농업과 지역의 지속가능한 성장을 지원할 수 있는 가장 현실적인 수단"이라며 "국내외 금융환경이 빠르게 변화하는 만큼 농협금융이 선제적으로 대응해 우리 사회 지속가능한 미래를 이끄는 금융그룹으로 나아가겠다"고 강조했습니다.




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