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예스티, 고압 어닐링 베타 장비 개발 본격화

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Friday, September 02, 2022, 11:09:14

연내 고압 어닐링 장비 알파테스트 완료 후 베타테스트 진행

 

인더뉴스 양귀남 기자ㅣ반도체 장비 전문기업 예스티는 신성장 동력 핵심 아이템인 ‘고압 어닐링 베타 장비’ 개발을 본격화한다고 2일 밝혔다. 베타테스트는 실제 반도체 제조공정 적용을 위한 것으로 테스트가 성공적으로 진행될 경우 실제 공정 적용을 거쳐 상용화로 이어질 전망이다.

 

예스티는 국내 글로벌 반도체 기업과 고압 어닐링 장비 상용화를 위한 알파 테스트를 진행 중이다. 베타 테스트는 알파 테스트 결과를 기반으로 기존 장비의 문제점을 개선하고 신뢰성을 높이기 위해 장비를 업그레이드한 후 현장평가를 진행하는 방식으로 진행될 예정이다.

 

고압 어닐링 장비는 반도체 산화공정에서 발생한 계면 결함을 고압 수소·중수소로 치환하는 어닐링 공정에 적용되는 장비다. 최근 글로벌 반도체 기업들이 생산량 및 전력효율 향상 측면에서 공정 미세화에 대규모 투자를 진행하고 있어 미세화 공정에서도 적용이 가능한 고압 어닐링 장비의 필요성이 증가하고 있다.

 

예스티 관계자는 “고객사와 긴밀한 협업을 통해 고압 어닐링 알파 장비의 평가가 순조롭게 진행되고 있다”라며 “알파 테스트를 통해 확보된 데이터를 기반으로 실제 공정에 적용할 베타 장비의 제작도 완료할 것”이라고 설명했다.

 

그는 이어 “본격적인 장비 공급은 내년부터 이뤄질 것으로 예상하고 있으며 고압 어닐링 장비를 글로벌 반도체 생산라인에 반입해 공정 적용 테스트가 마무리되면 바로 장비 공급으로 이어질 것”이라며 “고압 어닐링 장비 상용화가 이뤄지면 반도체 사업부문 매출과 수익성이 큰 폭으로 개선될 것”이라고 말했다.

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양귀남 기자 Earman@inthenews.co.kr


삼성전자, 업계 최초 ‘9세대 V낸드’ 양산…“낸드플래시 시장 선도하겠다”

삼성전자, 업계 최초 ‘9세대 V낸드’ 양산…“낸드플래시 시장 선도하겠다”

2024.04.23 11:07:48

인더뉴스 이종현 기자ㅣ삼성전자[005930]가 업계 최초로 '1Tb(테라비트) TLC(Triple Level Cell) 9세대 V낸드' 양산을 시작한다고 23일 밝혔습니다. AI시대가 도래한 만큼 현재 업계에서는 AI기술에 핵심적으로 사용되는 고용량·고성능 낸드플래시에 대한 관심이 집중되고 있습니다. 삼성전자는 이번 '9세대 V낸드' 양산을 시작으로 낸드플래시 시장에서의 경쟁력을 공고히 하겠다는 입장입니다. 삼성전자는 업계 최소 크기 셀(Cell)과 최소 몰드(Mold) 두께를 구현해 '1Tb TLC 9세대 V낸드'의 비트 밀도를 이전 세대 대비 약 1.5배 증가시켰습니다. 동시에 더미 채널 홀 제거 기술로 셀의 평면적을 줄였으며 셀의 크기를 줄이면서 생기는 간섭 현상을 제어하기 위해 셀 간섭 회피 기술, 셀 수명 연장 기술을 적용했습니다. 해당 제품은 더블 스택(Double Stack) 구조로 구현할 수 있는 최고 단수 제품으로 '채널 홀 에칭(Channel Hole Etching)' 기술을 통해 한번에 업계 최대 단수를 뚫는 공정을 통해 생산성을 향상시켰습니다. '채널 홀 에칭'은 몰드층을 순차적으로 적층한 다음 한 번에 전자가 이동하는 채널 홀을 만드는 기술입니다. '9세대 V낸드'는 차세대 낸드플래시 인터페이스인 'Toggle 5.1'이 적용돼 8세대 V낸드 대비 33% 향상된 최대 3.2Gbps의 데이터 입출력 속도를 냅니다. 삼성전자는 이를 기반으로 PCIe 5.0 인터페이스를 지원하고 고성능 SSD 시장을 확대할 계획입니다. 또한 '9세대 V낸드'는 저전력 설계 기술을 탑재해 이전 세대 제품 대비 소비 전력이 약 10% 개선됐습니다. 허성회 삼성전자 메모리사업부 Flash개발실장 부사장은 "낸드플래시 제품의 세대가 진화할수록 고용량·고성능 제품에 대한 고객의 니즈가 높아지고 있어 극한의 기술 혁신을 통해 생산성과 제품 경쟁력을 높였다"며 "9세대 V낸드를 통해 AI 시대에 대응하는 초고속, 초고용량 SSD 시장을 선도해 나갈 것"이라고 말했습니다. 삼성전자는 'TLC 9세대 V낸드'에 이어 올 하반기 'QLC(Quad Level Cell) 9세대 V낸드'도 양산할 예정으로 고용량·고성능 낸드플래시 개발을 지속할 예정입니다.


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