인더뉴스 양귀남 기자ㅣ반도체 장비 전문기업 예스티는 신성장 동력 핵심 아이템인 ‘고압 어닐링 베타 장비’ 개발을 본격화한다고 2일 밝혔다. 베타테스트는 실제 반도체 제조공정 적용을 위한 것으로 테스트가 성공적으로 진행될 경우 실제 공정 적용을 거쳐 상용화로 이어질 전망이다.
예스티는 국내 글로벌 반도체 기업과 고압 어닐링 장비 상용화를 위한 알파 테스트를 진행 중이다. 베타 테스트는 알파 테스트 결과를 기반으로 기존 장비의 문제점을 개선하고 신뢰성을 높이기 위해 장비를 업그레이드한 후 현장평가를 진행하는 방식으로 진행될 예정이다.
고압 어닐링 장비는 반도체 산화공정에서 발생한 계면 결함을 고압 수소·중수소로 치환하는 어닐링 공정에 적용되는 장비다. 최근 글로벌 반도체 기업들이 생산량 및 전력효율 향상 측면에서 공정 미세화에 대규모 투자를 진행하고 있어 미세화 공정에서도 적용이 가능한 고압 어닐링 장비의 필요성이 증가하고 있다.
예스티 관계자는 “고객사와 긴밀한 협업을 통해 고압 어닐링 알파 장비의 평가가 순조롭게 진행되고 있다”라며 “알파 테스트를 통해 확보된 데이터를 기반으로 실제 공정에 적용할 베타 장비의 제작도 완료할 것”이라고 설명했다.
그는 이어 “본격적인 장비 공급은 내년부터 이뤄질 것으로 예상하고 있으며 고압 어닐링 장비를 글로벌 반도체 생산라인에 반입해 공정 적용 테스트가 마무리되면 바로 장비 공급으로 이어질 것”이라며 “고압 어닐링 장비 상용화가 이뤄지면 반도체 사업부문 매출과 수익성이 큰 폭으로 개선될 것”이라고 말했다.
