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예스티, 고압 어닐링 장비알파 테스트 성공

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Monday, March 27, 2023, 14:03:46

상용화 가속화 전망

 

인더뉴스 양귀남 기자ㅣ예스티는 미세 반도체 공정의 핵심 설비인 고압 어닐링 장비 알파 테스트를 성공적으로 마치고 다음 개발 단계로 진입한다고 27일 밝혔다. 회사의 신성장 동력 중 하나인 고압 어닐링 장비의 상용화가 한층 가속화될 전망이다.

 

예스티는 지난해부터 상용화를 전제로 고압 어닐링 알파 장비에 대한 알파 테스트를 진행해왔다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 테스트를 진행한 결과 고객이 요구하는 수준의 성능은 물론 자체 개발 목표를 상회하는 성과를 얻는 데 성공했다.

 

예스티는 알파 테스트 결과를 기반으로 다음 개발 절차 준비에 착수했다. 올해 중으로 신뢰성 향상과 관련한 테스트를 마무리하고 본격적인 수주를 받는 것이 목표다.

 

어닐링은 고압 수소·중수소를 통해 반도체 표면의 결함을 제거하는 핵심 공정으로 반도체의 신뢰성을 높이는 한편 집적회로 성능을 향상시키는 역할을 한다. 예스티는 자체 반도체 열처리 및 수소 제어 기술을 기반으로 21년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다.

 

기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 높은 온도가 요구되고 고온으로 인한 수소 침투율에 한계가 있어 계면 결함 개선 효과가 저하된다는 한계가 존재했다고 회사측은 설명했다. 예스티가 개발한 고압 어닐링 장비는 최대 30기압의 고압으로 반도체 웨이퍼 표면에 중수소 침투율을 향상시켜 어닐링 효과를 극대화할 수 있다고 덧붙였다.

 

지난해 예스티는 고압 어닐링 장비의 핵심 설비인 압력 챔버를 개선한 중수소 리액터 장치와 관련된 기술 특허를 출원한 바 있다. 가격 경쟁력 향상은 물론 리드타임을 대폭 단축할 수 있는 다양한 핵심 기술들을 내재화했기 때문에 국내 글로벌 반도체 회사들로부터 긍정적인 평가를 받고 있다는 것이 회사측의 설명이다.

 

예스티 관계자는 “예스티의 고압 어닐링 장비는 기존 장비보다 공정 압력이 20% 향상된 최대 30기압까지 처리 가능하며, 자체 개발한 압력 챔버를 적용해 성능 및 비용 측면에서 모두 우위에 있다”라며 “이러한 장점을 기반으로 국내외 글로벌 반도체 기업들을 고객사로 확보해 나갈 계획”이라고 말했다.

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양귀남 기자 Earman@inthenews.co.kr

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KB금융 1호 ‘명품가게’ 현판식…양종희 회장 “과거의 헌신 오늘의 희망으로”

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2025.08.14 14:59:09

인더뉴스 문승현 기자ㅣ양종희 KB금융그룹 회장은 최근 "KB금융은 금융의 역할로 우리사회 곳곳에 선한 영향력을 펼치고 모두 함께 성장하는 동반자가 되도록 최선을 다하겠다"고 말했습니다. 14일 KB금융에 따르면 양종희 회장은 전날 서울 도봉구 창동에서 '명예를품은가게(명품가게)' 첫번째 사업장 현판식에 참석해 이렇게 의지를 밝혔습니다. 명품가게는 KB금융이 광복 80주년 기념으로 국가보훈부, 한국경제인협회(한경협), 광복회와 함께 독립유공자 후손 소상공인을 발굴해 생계와 자립을 응원하고 국민공감대를 확산하기 위한 소상공인 지원사업입니다. 1호 명품가게로 선정된 창동 '팔레트미술교습소'는 독립운동가 김혁 선생의 손녀 김수정씨가 운영하는 미술학원으로 지역아동 예술교육에 힘쓰고 있습니다. KB금융과 한경협은 아이들에게 안전하고 편안한 교육환경을 제공하도록 외벽정비, 간판교체, 실내 리모델링, 수도관 보강 등 전반적인 공간개선작업을 했습니다. 팔레트미술교습소 김수정 원장은 "잊지 않고 기억해 주셔서 감사하다. 독립운동가 후손이라는 것이 더욱 자랑스럽게 느껴진다"며 "이번 지원을 통해 교습소 공간이 훨씬 따뜻해졌고 앞으로도 지역사회에 기여하는 교습소가 되겠다"고 소감을 전했습니다. 양종희 회장은 "이번 명품가게 지원사업은 과거의 헌신과 오늘의 희망을 잇는 뜻깊은 연결고리가 될 것"이라고 의미를 부여했습니다. KB금융과 한경협은 향후 전국 8개 지역 독립유공자 후손 소상공인을 대상으로 가게 및 부대시설 개선(리모델링), 분야별 경영컨설팅(연중), 명품가게 현판 제공 등 맞춤형 솔루션을 제공할 예정입니다. KB금융은 나라 위한 희생·헌신에 감사와 존경의 의미를 담아 독립유공자를 위한 캠페인과 후원사업을 꾸준히 펼치고 있습니다. 2019년부터 '대한이 살았다' 캠페인을 하고 있는 KB국민은행은 '독립영웅들의 숨겨진 이야기' 영상캠페인을 제작해 대한민국 독립운동 역사를 널리 알리는데 앞장서고 있습니다. 2022년에는 '대한의 보금자리' 사업으로 강원 정선, 전남 목포, 경북 영덕 등지에서 노후주택에 거주하는 독립유공자 후손의 주거환경 개선을 지원했습니다. 또 독립유공자 후손을 위한 장학금 전달, 생활지원키트 후원 등 독립유공자와 그 후손을 위한 전방위적 지원에 나서고 있습니다.




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