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삼성전자, EUV 기술 적용한 5나노 파운드리 공정 개발

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Tuesday, April 16, 2019, 11:04:00

극자외선 활용해 성능·수율 높여..이달 중 7나노 제품도 출하
올해 6나노 제품 양산 목표..파운드리 지원 프로그램도 추진

인더뉴스 이진솔 기자ㅣ 삼성전자가 반도체 공정에 차세대 반도체 기술을 접목했다. 이를 기반으로 파운드리 분야 지배력을 강화할 전망이다.

 

삼성전자가 극자외선(EUV·Extreme Ultra Violet) 기술을 기반으로 5나노 공정 개발에 성공했다고 16일 밝혔다. 이어 이달 안에 7나노 제품을 출하하고 6나노 제품 설계를 완료해 올해 내 양산을 하겠다는 계획도 내놨다.

 

반도체를 만들 때는 웨이퍼 위에 레이저로 회로를 그리는 포토 공정을 거친다. 업계는 회로의 선폭을 좁혀 반도체 동작 속도를 높이는 데 주력해왔다. 10나노 이하 공정도 그 과정이다.

 

하지만 10나노 이하 공정에 접어들면서 포토 공정의 난도가 증가하고 있다. 기존 불화아르곤(ArF) 광원을 사용하는 노광 공정이 한계에 달했다고 평가받는 이유다. 

 

EUV 기술은 파장이 ArF보다 작다. 최대 3나노 수준의 미세한 회로를 제작할 수 있다. 회로를 새기는 작업을 반복하는 멀티 패터닝(Multi-Patterning) 공정을 줄여 성능과 수율도 높일 수 있다.

 

삼성전자는 “초미세 공정 포트폴리오를 확대해 파운드리 기술 리더십과 4차 산업혁명을 이끌 시스템 반도체 사업 경쟁력을 강화한다는 전략”이라며 “이번 공정 확대가 국내 반도체 생태계 발전과 시스템 반도체 산업 육성에도 큰 역할을 할 것으로 기대된다”고 말했다.

 

삼성전자가 이번에 개발한 차세대 5나노 공정은 셀 설계 최적화를 통해 기존 7나노 공정 대비 로직 면적을 25% 줄일 수 있다. 또한 20% 향상된 전력 효율 또는 10% 향상된 성능을 제공한다.

 

이번 5나노 공정은 기존 7나노 공정에 적용된 설계 자산(IP·Intellectual Property)을 활용할 수 있다. 기존 7나노 공정을 사용한다면 새 공정 설계 비용을 줄일 수 있다.

 

삼성전자는 7나노와 6나노 파운드리 공정에서도 양산을 본격화한다. 올해 초 업계 최초로 EUV 공정을 적용한 7나노 제품 양산을 시작해 이달 출하할 계획이다. 삼성전자는 “6나노 공정 제품은 고객과 생산 협의 중이며 설계가 완료돼 올해 하반기 양산할 예정”이라고 말했다.

 

이번 초미세 공정의 기반이 된 EUV 기술은 기존 불화아르곤(ArF)보다 파장의 길이가 짧은 EUV 광원을 사용해 더 세밀한 반도체 회로를 구현할 수 있다. 회로를 새기는 작업을 반복하는 멀티 패터닝(Multi-Patterning) 공정을 줄여 성능과 수율을 높일 수 있다.

 

삼성전자는 파운드리 사업으로 국내 시스템반도체 경쟁력을 높인다는 방침이다. 파운드리 사업은 반도체 장비·소재·디자인·패키징·테스트 등 생산과정에 다양한 업체들의 기술이 함께 투입된다. 전후방 연관 효과가 크다. 

 

삼성전자는 우선 웨이퍼 1장에 여러 종류의 반도체 제품을 생산하는 ‘MPW(Multi Project Wafer) 서비스’를 최신 5나노 공정까지 확대한다. MPW는 다품종 소량 생산을 위한 파운드리의 한 형태다.

 

또한 파운드리 지원 프로그램인 ‘SAFE TM(Samsung Advanced Foundry Ecosystem)’로 시스템 반도체 생태계를 조성한다. 이 프로그램은 공정 설계 키트(PDK)·설계 방법론(DM)·자동화 설계 툴(EDA) 등 5나노 공정 기반 제품 설계를 돕는 디자인 인프라를 제공한다.

 

삼성전자는 “팹리스 고객들이 프로그램을 활용해 더욱 쉽고 빠르게 제품을 설계할 수 있고 신제품 출시 시기도 앞당길 수 있다”며 “삼성전자 서비스와 생산기술은 국내 팹리스 업체들이 글로벌 시장에서 경쟁할 수 있는 시스템 반도체를 내놓는 데 큰 도움을 줄 것”이라고 말했다.

 

배영창 삼성전자 파운드리사업부 전략마케팅팀 부사장은 “EUV 기반 공정은 성능과 IP 등에서 다양한 강점을 가지고 있어 5G ·AI ·전장 등 신규 응용처를 중심으로 높은 수요가 예상된다”며 “앞으로도 첨단 공정 솔루션으로 미래 시스템 반도체 산업을 이끌어 나갈 것”이라고 밝혔다.

 

삼성전자는 최신 파운드리 생산시설인 화성캠퍼스 S3 라인에서 EUV 기반 최첨단 공정 제품을 생산하고 있다. 현재 건설 중인 화성캠퍼스 EUV 전용 라인을 2020년부터 가동할 계획이다.

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이진솔 기자 jinsol@inthenews.co.kr

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글로벌 12위 ETF운용사 미래에셋, TIGER ETF 70조 달성-글로벌 220조 눈앞

글로벌 12위 ETF운용사 미래에셋, TIGER ETF 70조 달성-글로벌 220조 눈앞

2025.06.26 10:24:25

인더뉴스 최이레 기자ㅣ미래에셋자산운용은 ‘TIGER ETF’가 국내 및 해외형 모두 고른 성장을 보이며 총 순자산 규모 70조원을 돌파했다고 26일 밝혔습니다. 미래에셋자산운용은 국내 70조원을 포함해 전 세계에서 약 220조원을 운용하는 글로벌 12위 ETF 운용사입니다. 글로벌 네트워크를 기반으로 국내 투자자들에게 혁신상품을 선보이며 투자기회를 확대해왔습니다. 한국거래소에 따르면 25일 종가 기준 TIGER ETF 213종의 순자산 합계는 70조751억원입니다. 지난해 11월 60조원을 돌파한데 이어 올해도 개인투자자들의 꾸준한 선택을 받으며 70조원을 넘어섰습니다. 미래에셋자산운용은 국내 최초 미국 대표지수 ETF를 선보인 이래 ‘TIGER 미국S&P500 ETF(360750)’, ‘TIGER 미국나스닥100 ETF(133690)’를 아시아 최대 규모로 성장시키며 ‘미국 투자의 대명사’로 자리잡았습니다. 또 미국뿐 아니라 중국, 인도 등에서 다양한 투자기회를 발굴해왔습니다. 지난 25일 기준 국내 상장된 해외투자 ETF 순자산 총 50조원중 TIGER ETF 순자산이 절반 가량인 25조3000억원으로 1위입니다. 최근에는 국내 최초 전 세계 주식시장에 한번에 분산투자하는 ‘TIGER 토탈월드스탁액티브 ETF(0060H0)’를 선보이며 글로벌 분산투자 기회를 마련했고, 중국 테크 우량주에 집중투자하는 ‘TIGER 차이나테크TOP10 ETF’ 등을 통해 장기적 성장이 기대되는 중국 혁신기업들에 대한 투자 접근성을 높였습니다. 해외주식형뿐 아니라 채권형 ETF도 TIGER ETF의 성장세를 견인했습니다. 올해 신규 상장한 ‘TIGER 머니마켓액티브 ETF(0043B0)’는 상장 2개월만에 순자산 1조원을 돌파했고, ‘TIGER 종합채권(AA-이상)액티브 ETF’는 기관 투자자들의 러브콜을 받으며 최근 순자산 1조원을 넘어섰습니다. 국내 증시 상승세속에 국내주식형 TIGER ETF는 개인투자자들의 꾸준한 매수세가 이어지고 있습니다. ‘TIGER 200 ETF(102110)’는 풍부한 거래대금과 국내 최저 수준의 총 보수라는 경쟁력으로 25일 기준 연초 이후 약 800억원의 개인 누적순매수를 기록했습니다. 지난달 신규 상장한 ‘TIGER 코리아배당다우존스 ETF(0052D0)’는 새정부의 상법개정안 수혜 대표 ETF로 떠오르며 개인자금이 집중되고 있습니다. 미래자산운용은 "TIGER ETF는 미래에셋자산운용의 글로벌 네트워크를 기반으로 국내 투자자들에게 혁신적인 상품을 제공하고 있다"고 설명했습니다. 이와관련 현재 미래에셋자산운용은 전 세계에서 총 217조원 규모의 ETF를 운용중입니다. 이는 국내 전체 ETF 시장보다 큰 규모이자, 글로벌 ETF 운용사 12위 수준입니다. 지난 10년간 글로벌 ETF 운용사들의 연평균 성장률은 18.3%인 반면 해당 기간 미래에셋자산운용은 2배 가량인 35.1%의 성장률을 기록했습니다. 특히 글로벌 투자자들은 미래에셋자산운용의 ‘킬러프로덕트(Killer Product)’에 주목하고 있습니다. 미국 ETF 운용 자회사 ‘Global X(글로벌엑스)’와 AI 전문 법인 ‘WealthSpot(웰스스팟)’이 최근 미국에 선보인 ‘Global X Investment Grade Corporate Bond ETF(GXIG)’, 그동안 글로벌 ETF 시장에서 다양한 가상자산 ETF를 출시해 온 미래에셋이 새롭게 선보인 ‘Global X Bitcoin Covered Call ETF(BCCC)’ 등이 대표적입니다. 미래에셋자산운용은 "앞으로도 투자자들의 성공적인 자산운용과 평안한 노후를 위한 장기투자 파트너로서의 역할을 강화할 계획"이라며 "개인 투자자들이 가장 많이 선택하는 ETF 브랜드’로서 ETF를 통한 연금 투자 문화를 선도할 방침"이라고 밝혔습니다. 25일 기준 현재 국내 전체 ETF 중 개인투자자 보유금액(AUM)은 약 62조원으로 이중 TIGER ETF는 27조원으로 1위, 전체의 약 43%를 차지합니다. 미래에셋자산운용 ETF운용부문 대표 김남기 부사장은 “미래에셋자산운용은 연금 장기투자와 혁신 성장이라는 철학을 바탕으로 경쟁력 있는 상품 개발에 집중해왔다”며 “앞으로도 TIGER ETF에 보내주신 사랑에 보답하고, ‘글로벌 TOP Tier ETF 운용사’로서 혁신적인 상품들을 발굴하고 투자자들의 장기투자 파트너 역할을 충실히 수행하겠다”고 말했습니다.


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