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영우디에스피, 반도체 웨이퍼 결함 분석 검사장비 개발 추진

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Wednesday, July 28, 2021, 11:07:14

 

인더뉴스 최연재 기자ㅣ영우디에스피(대표 박금성)는 정부가 추진하고 있는 반도체 소부장(소재·부품·장비) 국산화의 세부주관기관으로 선정됐다고 28일 밝혔다.

 

산업통상자원부가 주관하는 본 사업은 '반도체 결함 검사장비용 CaF2 광학소재 및 광학모듈 기술개발'의 3세부 과제다. 한국산업기술평가관리원이 전담기관, 한국광기술원이 총괄주관 기관으로 참여한다. 1세부, 2세부에서는 각각 ‘CaF2 단결정 제조장비 및 200mm급 고균질 잉곳’과 ‘고분해능 자외선 렌즈설계, 광학렌즈, 광학모듈화 상용화’ 기술개발을 진행한다. 사업기간은 오는 2024년까지이며, 총 정부지원금은 194억5000억원이다.

 

영우디에스피는 반도체 DUV 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발에 참여한다. 영우디에스피가 주관기관으로서 역할을 수행하고 대일시스템, 금오공대, 국민대, 애리조나대가 공동연구개발기관 자격으로 참여한다. 사업 기간은 오는 2024년 말까지이다

 

영우디에스피는 내년까지 DUV 대물렌즈 평가를 위한 IQC 시스템을 개발할 계획이며, 2세부 과제에서 DUV 대물렌즈 개발시, 이를 실장 성능평가를 할 수 있는 검사기 시스템 역시 개발할 예정이다. 더불어 반도체 웨이퍼 10나노급 결함을 분석할 수 있는 검사기술 개발 역시 추진한다.

 

이번 과제를 기반으로 본격적인 반도체 검사장비 사업화도 진행할 방침이다. 국내외 광부품 제조 업체를 대상으로 수입검사용 IQC 시스템의 사업화에도 나설 전망이다. 반도체 웨이퍼 결함분석용 검사장비의 개발을 통해 소재부품을 국산화하고, 글로벌 반도체 업체와의 교류도 더욱 늘려나갈 계획이다.

 

박금성 영우디에스피 대표는 “그동안 디스플레이 및 반도체 장비를 개발하면서 축적한 초정밀 광학 설계 및 계측, 검사 알고리즘 및 AI 기술 등을 바탕으로 반도체 초미세 결함 검사장비 개발 및 관련 소재부품 국산화에 최선을 다하겠다”며 “특히 광부품 IQC 시스템과 웨이퍼 결함 분석 장비를 사업화하면 중장기적으로 대규모의 신규 매출이 발생할 것으로 기대되며 글로벌 반도체 업체들과도 지속적으로 협력을 이어갈 것”이라고 전했다. 

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최연재 기자 stock@inthenews.co.kr


삼성전자, B2B 시장에도 AI가전 공급…시장 생태계 확장

삼성전자, B2B 시장에도 AI가전 공급…시장 생태계 확장

2024.05.14 09:48:37

인더뉴스 이종현 기자ㅣ삼성전자가 AI가전을 B2B(기업간거래) 시장에 공급하며 AI가전 생태계 확장에 나섭니다. 삼성전자[005930]는 최근 출시한 신제품 '비스포크 AI 무풍 시스템에어컨 인피니트 라인'을 '그란츠 리버파크' 시행사 디에이치프라프티원에 공급하는 양해각서(MOU)를 체결했다고 14일 밝혔습니다. 회사는 함께 공급하는 냉장고, 식기세척기, 인덕션, 오븐 등 빌트인 가전에도 스마트싱스 연결을 지원해 에너지 절감뿐 아니라 다양한 편리함으로 쾌적한 주거환경을 소비자들에게 제공할 계획이라고 설명했습니다. 삼성전자는 이번 수주를 시작으로 고급 빌라, 타운 하우스, 시니어 타운 등 여러 B2B 시장에 '비스포크 AI 무풍 시스템에어컨 인피니트 라인' 공급을 지속 확대키로 했습니다. 또한, ▲비스포크 AI 콤보 ▲비스포크 AI 스팀 ▲Neo QLED 8K TV 등 AI가전으로 주거공간 뿐 아니라 상업·교육시설, 전시장 등 B2B 시장 공략에 적극 나선다는 방침입니다. AI 기능을 더욱 강화한 2024년형 '비스포크 AI 무풍 시스템에어컨 인피니트 라인'은 고효율 냉방 성능과 사람의 움직임을 감지하는 레이더 센서(Radar Sensor)를 탑재해 AI 기능을 강화한 것이 특징입니다. 'AI 부재 절전' 기능은 레이더 센서가 사람의 움직임을 감지해 사용자가 없다고 판단하면 절전 운전으로 자동 전환하고 사용자의 부재 패턴을 학습해 점차 빠르게 절전 운전으로 전환해 에너지 소비를 절감합니다. 또한, 공간 내 활동량의 변화를 감지해 냉방 세기와 풍량을 조절하는 '동작 감지 쾌적' 기능도 제공합니다. 오치오 삼성전자 한국총괄 부사장은 "이번 비스포크 AI 무풍 시스템에어컨 인피니트 라인 공급으로 입주민들이 삼성의 AI를 활용한 스마트하고 편리한 일상을 즐길 수 있게 됐다"며 "앞으로 B2B 시장에서도 삼성만의 차별화된 AI 기술을 보다 많은 소비자들에게 선보이며 'AI가전=삼성' 공식을 B2B 시장 생태계까지 확장해 나갈 것"이라고 말했습니다.


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